概要 光学的な膜厚計測は、誘電体膜や半導体膜と様々な物性の膜に適応可能であり、サブnmから数µmの膜厚までの広い計測範囲を持つという優れた特長があります。さらに、非破壊・非接触で計測できることから広く用いられています。それぞれの膜圧測定、解析方法と解析方法には原理上の違いがあるので、予測される膜厚・膜の層数や膜と基板の材質に合わせて、適切に選択することが重要です。 エリプソメトリ×多層膜解析法による膜厚計測(1~数100nm) 偏光状態の変化とΔΨの関係 エリプソメトリは、反射光の偏光状態の変化からΔ、Ψを求めます。偏光状態は測定波長よりも極めて薄い膜においても変化するため、可視光によって数nmの膜厚から測定することが可能です。Si基板上の自然酸化膜は1. 79nmと評価されています。 4インチSiウェーハ上のシリコン窒化膜厚分布 右図は、4インチSiウェーハ上のシリコン窒化膜の膜厚分布を測定した例です。平均膜厚は90. 2nm、平均屈折率は2.
製品情報 PRODUCT INFO 反射防止コート無しでも55%前後の透過率、コーティングを施すことで90%以上の高透過率を実現できます。ガス分析、炎検知、人体検知のほか赤外カメラレンズ、放射温度計にも適しています。 耐環境性能の高いDLCコーティングを施すことで、屋外などでの使用も可能になります。撥油コートをつければ厨房など油の飛び散りが懸念される環境でもご利用いただけます。 1.
2 ≤100x50 ラミネートなし / ラミネートあり VIS 700 BC4 CW02 (ARコート) 600-850 600-1. 000 >84-93 >84-95 >10, 000:1 >1, 000:1 220 ±50 2. 2 ≤100x50 ラミネートなし / ラミネートあり VISIR 600-1. 200 550-1. 500 >67-84 >57-85 >100, 000:1 >10, 000:1 260 ±50 2. 2 ≤100x60 ラミネートなし / ラミネートあり VISIR CW02 (ARコート) 600-1. 200 >71-88 >100, 000:1 260 ±50 2. 赤外線透過樹脂 -破砕機内部をサーモカメラで監視を行う計画をしているのです- | OKWAVE. 2 ≤100x60 ラミネートなし / ラミネートあり 1) ラミネートなし (non laminated) 2) ラミネートあり (laminated) The contrast ration in defined to be k 1:k 2, where k 1 is the transmittance of a polarized beam passing the filter and k 2 is the transmittance of a polarized beam blocked by the filter. 標準品とは異なるこれ以外のスペクトル域や、透過性、コントラスト比のポラライザもご提供可能です。 反射防止膜(ARコート)
質問日時: 2006/09/12 17:07 回答数: 1 件 今度、シリコンウエハーに試料をつけてFTIRで分析したいと考えております。 そこで問題となってくるのがシリコンウエハーの赤外線の透過率です。 シリコンウエハーの厚さごとの赤外線透過率を知りたいのですが、良い文献はないものでしょうか?? もしくは、どの程度の厚さで赤外は透過したなどの漠然とした情報でも構いません。 宜しくお願いします。 No. 1 ベストアンサー 回答者: leo-ultra 回答日時: 2006/09/12 17:36 シリコンウェハーの伝導度にすごく透過率が依存します。 キャリヤ吸収! 光学薄膜 ｜ 製品情報 ｜ AGC. 厚さ0. 5mmのp型Siで、波数4000-400cm-1の範囲で、 20Ωcmのものは、大よそ50%透過します。 反射も50%くらいなので、Siウェハーによる吸収はほぼゼロです。 ただし、CやO不純物の吸収がある領域では透過率が下がります。 一方、同じ厚さでも0. 02Ωcmのものは、3000cm-1以下で透過率が0. 5%以下です。 これは2004年のVacuumの論文に載っていました。 0 件 この回答へのお礼 ご回答ありがとうございます。 伝導度が透過率に依存する事は知りませんでした・・・。 勉強不足でお恥ずかしい限りです。 参考にさせていただきます。 お礼日時:2006/09/28 15:40 お探しのQ&Aが見つからない時は、教えて! gooで質問しましょう! このQ&Aを見た人はこんなQ&Aも見ています
7~3. 0µm、中赤外線:3~8µm、遠赤外線:8~15µmとします。 人感センサー用フィルター 全ての物体からは必ず赤外線が放射されており、物体の温度によってその放射量は決まります。例えば37℃程度の人間の体温では、約9~10µmに最大放射量を持つ赤外線が放射されています。9~10µmの赤外線を効率良く透過させるフィルターを焦電素子を組み合わせることで人感センサーとして利用されています。 DLC膜 屋外で使用されるセンサーには耐環境性が要求されますが、フィルターも同様に高硬度や耐摩耗性、耐湿性、耐腐食性など要求されます。この要求に対し開発されたのがダイヤモンドライクカーボン膜(DLC/Diamond Like Carbon)です。従来、工具の寿命を改善する為の表面処理技術の1つでしたが、赤外線の透過性能が改善されたことで光学フィルターとして利用できるようになりました。DLC膜の屈折率が2~2. 4であり、赤外線用の基板で使用されるゲルマニウムやシリコンに対する反射防止膜の材料としても活用できます。赤外線カメラを海岸や高速道路などの過酷な環境で利用する場合、外界に接する面にDLC膜を施し反対面にブロードな反射防止膜を施した赤外線ウインドウを使用します。 ガス検出用フィルター 赤外線帯域では様々なガスの固有吸収スペクトルがあります。この固有吸収スペクトルにおける吸光度の極大波長吸収量を測定することによって成分の特定や濃度など分析ができます。この方式を赤外線吸収分析法と呼び、極大波長のみを効率的に透過させるバンドパスフィルターが利用されます。例えば二酸化炭素は4. 26µm付近が極大波長です。二酸化炭素を検出するセンサーには4.
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